產(chǎn)品簡介
劃片印跡小，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性高
高分辨率顯微鏡
17英寸觸摸屏，可操作性更強(qiáng)
產(chǎn)品特性
適應(yīng)于多種應(yīng)用場景：
12-inch
300×250mm
標(biāo)準(zhǔn)主軸轉(zhuǎn)速60000rpm，選件：高轉(zhuǎn)速80000rpm；高功率主軸2.2kW（30000rpm）
簡單快捷的切縫檢查功能
易于日常維護(hù)
更高效的真空控制系統(tǒng)，與普通機(jī)型相比減少50%空氣消耗
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體制造晶圓劃片
規(guī)格參數(shù)
最大工作尺寸
Φ 12inch, □ 300x250 mm
主軸
轉(zhuǎn)速
60000rpm
1.8kW
X軸
切割范圍
310mm
800mm/sec
Y軸
300mm/sec
0.002 mm / 310 mm
Z軸
行程
35mm
80 mm/sec
0.001 mm
θ
轉(zhuǎn)動(dòng)范圍
380°
物理尺寸
890 mm×1000 mm×1560 mm
重量
800 kg
