校準片

型號

外觀

主要特性

標準阻抗校準片

• 用于 ACP、Infinity 和 FPC 探針

• 確保在矢量網絡分析儀的晶圓上校準中獲得更高的準確度和更好的重復精度

• 提供了經驗證的 LRRM 校準準確度

• 具有自動負載電感補償功能

CSR 校準片

• 與|Z|探針完美匹配

• 所有的 CSR 校準片都在校準片本身之上包括 Open 標準，因而與為了 Open 而簡單地抬高探針相比，提供了一種更加準確的校準。由于我們的探針系統在激光修整工藝中使用，所以對于所有的負載 (Load) 標準，典型準確度皆優于 0.1%。而且，在 10 K 至 430 K 的溫度范圍內，Load 標準的電阻保持穩定在理想值 (50 ?) 的 0.3% 以內

多線TRL校準片

• 毫米波和亞毫米波校準片

• 專為 T-Wave? 探針而優化

• 多線 TRL 校準襯底提供了 CPW 標準，包括反射（短路）、thru 和兩線

• 襯底材料：高阻性硅

• 襯底厚度：275 μm

• 介電常數：11.8

• 標稱 Z0：50 Ω

Pyramid校準片

• 匹配 DUT 布局的能力改善了 RF 校準，可實現更好的良率

• 探針卡中位點之間偏移的減小免除了建立關聯的需要

• 對于多 DUT 校準，通過在多個標準上的單次觸壓減少了校準時間

• 探針、校準片和校準系數在單個方框中（每個thru的延時、C_OPEN，L_LOAD和L_SHORT）