Triax –低噪聲測量，低至fA級別
立體顯微鏡：15x–100x放大倍率，具有大視野和可用于照相機的C型卡口
四個三軸探頭臂和高質量的三軸電纜
光/EMI 屏蔽（任選）
用于 fF 級別測量的升級選項
TRIAX卡盤具有±8的theta卡盤精細旋轉，三個輔助區域，卡盤表面具有±5μm的平面度，以實現一致的接觸力和超行程
利用單一設置可完成東/西至北/南測量
產品手冊 下載
