晶圓上功率器件的表征
優化的測量設置
優化的信號路徑
各種不同分析儀的無縫集成
具有表面涂層的Triax卡盤，用于低泄漏測量，最高3kV，可提供高隔離度
高電流測量，最高接觸電流100 A，接觸電阻最低
針對 10 kV（同軸電纜）工作電壓的任選升級
薄晶圓處理能力
電弧防護和先進的接地概念
帶互鎖的屏蔽罩，用于EMI /不透光環境
為使用者和器件提供了針對高壓電擊的最大程度保護
產品手冊 下載
