產品簡介
MRSI Systems公司建造MRSI-705是為了實現更高標準的可靠而值得信賴的操作,其設計基于獲獎的工業標準平臺。主系統X、Y軸采用帶有高解析度直線編碼器的零壓力、無鋼且主動冷卻的直線電機驅動。編碼器刻度達0.1微米精度,可實現快速、精密、閉環定位。并通過更高端的線纜管理及Z軸先進的空氣軸承技術提高了可靠性。
平臺的設計更少地采用了運動的機械部件。實心花崗巖平臺從頂部支撐貼片頭,因此無機械結構處于懸臂狀態。所有這些因素使MRSI-705在保證熱穩定和機械穩定的同時,實現極快的啟動時間和±8微米乃至更好的貼片精度,從而滿足了關鍵應用的要求。
產品特性
產品應用
3D封裝
晶圓級封裝
LED裝配
微波組件
光電模塊
射頻功率放大器
紅外傳感器
壓力傳感器
微機電器件
半導體封裝
混合電路
多芯片模塊
心臟起搏器和助聽器
醫學成像
激光二極管
噴墨及打印頭
太陽能集中器封裝
芯片上的系統
封裝內的系統
規格參數
貼放重復精度 | ±1.5μm @ 3 sigma |
XY軸速度 | 1m/sec或40英寸/秒 |
Z軸貼放 | 根據壓力或高度貼放 |
壓力控制 | 通過實時反饋控制對每次貼放進行編程,壓力范圍10克至2000克 |
行程 | X: 20.0 in. (508 mm), Y: 35.0 in. (890 mm), Z: 1.25 in. (32 mm), ?: 360° |
解析度 | X: 0.1 μm, Y: 0.1 μm, Z: 0.4 μm, ? 0.004° |
容量 | 可容納多達90個2”x2”waffle料盒或24個4”x4”料盒或組合料盤 |
晶圓 | 晶圓,可達8英寸,配有馬達驅動Z軸頂針機械裝置 |
芯片尺寸 | 最小0.008平方英寸 |