產(chǎn)品簡介
Metrios DX是一款80-200kV掃描/透射電子顯微鏡，可提供基于TEM和S/TEM的可重復(fù)成像、分析和測量的計量結(jié)果，具有前所未有的吞吐量水平。
Thermo Scientific Metrios DX TEM結(jié)合了經(jīng)過驗證的技術(shù)和創(chuàng)新的新功能，是半導(dǎo)體和存儲環(huán)境的首選平臺，應(yīng)對越來越復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和收縮的幾何形狀，具備更大尺寸的精確測量能力。
除了新的硬件，Metrios DX TEM還配備了新的軟件功能，以改善數(shù)據(jù)傳輸速度。靈活的圖像采集(FIT+)可以在任何類型的結(jié)構(gòu)上實現(xiàn)自動化，不需要任何測試程序修改。用戶可以在多個樣品上定義感興趣的TEM、S/TEM和EDS采集區(qū)域，F(xiàn)IT+將自動獲取數(shù)據(jù)。同時Metrios DX TEM收集數(shù)據(jù)并上傳到Image Viewer數(shù)據(jù)庫。Metrios DX TEM的設(shè)計具有前所未有的易用性，是經(jīng)驗豐富的顯微鏡專家和新用戶的理想選擇。靈活的用戶界面允許全自動化計量和采集、半自動化操作或手動數(shù)據(jù)采集。自動圖像采集與自動計量相結(jié)合，極大地提高了數(shù)據(jù)精度。
產(chǎn)品特性
超穩(wěn)定、高亮度肖特基場發(fā)射槍(X-FEG)，確保高亮度和高發(fā)射電流
對稱物鏡，有5.6毫米寬的極片間隙
Thermo Scientific Constant Power Lens，模式切換的熱穩(wěn)定性更高
全數(shù)字系統(tǒng)，智能攝像頭
計算機(jī)化的5軸樣品壓電平臺，精確存儲樣品位置
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體失效分析
規(guī)格參數(shù)
tension range | 80-200 keV |
Electron source | X-FEG |
TEM information limit | 0.11 nm |
Probe corrector option | No | Yes |
STEM resolution at 200kV (nm) | 0.164 | 0.083 |
STEM resolution at 80kV (nm) | 0.31 | 0.136 |
EDS collection angle(shadowing removed) | 1.8 srd |
STEM detectors | HAADF/BF/DF2/DF4 |
Camera | Ceta 4k × 4k CMOS |
