產品簡介
V400ACE聚焦離子束(FIB)系統整合了離子柱設計、氣體輸送和端點檢測的最新成果，為先進的集成電路提供快速、高效、經濟有效的加工修改。
電路編輯可以讓產品設計師在數小時內更改導電通道和測試修改后的電路，而不是需要幾周或幾個月來生成新的掩模和加工新的晶圓。 更少、更短的修改和測試周期允許制造商加速新工藝，以更快地獲得高產量的利潤，并率先推出定價更高的新產品。 V400ACE是專門為滿足先進設計和工藝的挑戰而設計的:更小的幾何尺寸、更高的電路密度、奇異的材料和復雜的互連結構。
產品特性
快速，精確的電路修改
納米化學氣體輸送系統
同時繪制SE和樣品電流圖，提高了端點檢測能力
快速、準確的橫截面顯示缺陷
可選的背面編輯能力與近紅外顯微鏡
產品應用
失效分析
微組裝
規格參數
Ion Column | Tomahawk, Ga liquid metal 1000 hour lifetime |
Acc. Voltage | 0.5 kV – 30 kV |
Beam Current | 1.1 pA – 65 nA |
Image Resolution | 4.5nm |
Stage | 5-axes motorized eucentric X, Y motion 100 mm Tilt -10° to 60° Rotation 360° |
End Point Detect | Simultaneous SE/specimen current auto scaled plots |
Key options | Charge Neutralizer (electron flood gun) Bulk Si Trenching IR Microscope Electrical Feedthroughs |
