產品簡介
Thermo Scientific OptiFIB Taipan 系統是一款強大的聚焦離子束電路編輯系統，專注于優化10nm工藝節點。其具有最高的成像分辨率和切割精度、最高的離子束定位精度、低系統漂移，因而具備更高的成功率和生產率。OptiFIB Taipan 系統還具有獨特的以電路編輯為核心的化學反應和軟件自動化，以進一步提升使用性。
電路編輯技術提供了納米加工能力，可以在集成電路制造過程的各個點對微小的設計修正，為開發人員創建少量功能芯片，并解決可靠性問題。
產品特性
超高的FIB分辨率成像和低電流離子束銑削
Super-SED具有更高的信噪比和端點靈敏度
獨特的同軸離子-光子束流柱
先進的氣體輸送系統
先進的支持行業經驗證的PIAscan引擎
產品應用
失效分析
微組裝
規格參數
FIB Column | Ion-Photon Coaxial Taipan column forbackside and frontside circuit edits |
FIB image resolution | 2.7 nm @250 fA and 30 kV (Thermo Scientific graphite sample) |
Acceleration voltage | 0.5–30 kV |
Beam current | 250 fA–20 nA |
Stage travel (X,Y,Z) | 75 mm x 75 mm x 20 mm |
Beam stability/driftcontrol | 4 nm/min |
Conductor resistivity | ≤ 200 μΩ?cm |
Insulator resistivity | ≥ 1E15 μΩ?cm |
