HPD 4 K 低溫晶圓探針臺是一種高精度全自動探針臺，適用于 4 K 環境中的 150 毫米和 200 毫米晶圓。為了加速商用量子和超導計算機的實現，我們為芯片開發人員提供了智能迭代設計所需的工具。 4 K 低溫晶圓探測器集成了可配置的 DC 和 RF 電纜，以及可用于測試配置的最大靈活性的定制探針卡。具有集成磁屏蔽的穩健設計提供了必要的穩定環境條件，以確保為最敏感的超導設備提供最高質量的數據。全自動晶圓裝載和復雜的Velox軟件套件允許進行高吞吐量測試和無人值守操作，以快速獲取數據。 FormFactor 的長期探測專業知識和數十年的精密低溫經驗在該系統中相結合，將超導設備測試和測量從實驗室帶入晶圓廠。

產品特性

晶圓溫度驗證 <4.5 K（44 個射頻探頭接觸）
磁場抑制<200 nT
高度均勻的晶圓溫度
精確的熱穩定性和控制
堅固的花崗巖底座結構可實現精確的運動和振動控制
輕松更換可定制的探針卡
全自動或手動晶圓裝載選項
用于手動、半自動或全自動探測的完整軟件套件

產品應用

量子計算

超導芯片開發

量子信息科學

規格參數

晶圓尺寸	150毫米和200毫米
行程	+/- 112 mm XY, 0 - 13 mm Z， +/- 10°Theta
運動分辨率	<1 μm XYZ，<0.0001°Theta
XY速度	25mm /s
顯微鏡	50 mm XYZ，分辨率<3 μm
最低溫度	晶片溫度<4.5 K，有44個射頻探頭接觸
測量通道	56 RF連接(最高18ghz)和520DC
晶片容量	25片，晶片之間的交換時間小于15分鐘
靜止磁場	<200 nT