在超純水設備的生產過程中，水中的陰陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換技術等去除，水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術去除;水中的細菌，目前國內多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除;水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水的應用領域中，水的純度直接關系到器件的性能、可靠性，因此高純水要求具有相當高的純度和精度。

    電子工業對用水的純度要求較高，對水的電導率和電阻率都有明確的要求，用水只有達到要求才能被采用，超純水超純水處理設備的出水完全可以滿足電子工業對用水的水質要求。目前制備電子工業用超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來。現將他們的優缺點分別列于下面：

    1、第一種采用離子交換樹脂其優點在于初投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經常進行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環境有一定的破壞。

    2、第二種采用反滲透作為預處理再配上離子交換設備，其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但離子設備再生周期相對要長，耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環境還是有一定的破壞性。

    3、第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置，這是目前制取超純水最經濟，最環保用來制取超純水的工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水，對環境沒什么破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。

    反滲透技術是目前電子工業超純水設備中最先進的處理工藝同時也是處理效果最理想的處理工藝已經到達廣泛應用。?反滲透（簡稱RO）是膜分離技術的一種。其原理是：用足夠的壓力使溶液中的溶劑（通常指水）通過反滲透膜分離出水，因它的運行與自然界的正常滲透過程相反，故稱反滲透（或稱逆滲透）。隨著膜技術的發展，膜性能不斷提高，反滲透技術將發展成為進行分離、分級、提純和富集的化工分離新技術。